扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用.当一束高能的人射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射.同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动 (声子)、电子振荡 (等离子体).原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等. 查阅更多↓
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图象的放大范围广,分辨率也比较高.可放大十几倍到几十万倍,它基本上包括了从放大镜、光学显微镜直到透射电镜的放大范围.分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间,可达3nm.
检查过程一般是采集取样,然后标本的制作,医生在一定的时间内用扫描电子显微镜进行观察细胞,然后得出图像进行分析.