扫描电子显微镜

扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用.当一束高能的人射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射.同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动 (声子)、电子振荡 (等离子体).原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等.